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不锈钢真空泵对抽气有什么要求?

时间:2017-09-13 09:16   来源:www.qunying999.com  作者:aadmin

  

  利用不锈钢真空泵可以抽气,以降低压强,但是其抽气要哪些呢?

  正确地组合泵。由于有选择性抽气,因而,有时选用一种不锈钢真空泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对氩有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。

  另外,有的不锈钢真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的不锈钢真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。



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